必威告诉你什么是低温等离子

更新时间2019-07-15     作者:【必威
     必威引言:环境污染控制,人员劳动保护,技术应用,在高密度电子拼装、精密机械制造中,湿法清洗工艺日趋局限,干法清洗的原理及应用研究逐步紧迫,等离子体清洗技术在干洗中优势明显。文章的主题思想是等离子体清洗的原理及低温等离子技术清洗的工艺。

 
必威等离子清洗

     1、概述
 

     电子工业清洗是一个很广的概念,包括任何与除去污染物有关的工艺,但针对不同的对象,清洗的方法有很大的区别。目前在电子工业中已广泛应用的物理化学清洗方法,从运作方式看来,大致可分成两种:湿法清洗与干法清洗。湿洗已经在电子工业化生产中广泛应用。清洗主要依靠物理学和化学(溶剂)的作用。如在化学表面活性剂吸咐、浸湿、溶解、离散作用下辅以超声波、喷淋、转动、沸腾、蒸气、摇动等物理学作用下来除污垢,这些方法清洗作用和应用范围各不相同,清洗效果也有一定差别。
 

     2等离子体清洗机理


     电子拼装技术、精密机械制造的进一步发展,对清洗技术提出越来越高的要求,湿法清洗因为对环境污染大,其费用日渐增加。相对而言等离子清洗技术的最大特性是分不清处理对象的板材类型,均可进行处理,如金属、半导体材料、氧化物和大部分高分子材料(如:聚丙烯、聚酯、聚酰亚胺、聚氯乙烷、环氧树脂、甚至ptfe)等原基材料都能,如在 Si 衬低上沉积au膜,经Ar等离子体处理掉表面的氮氧化合物和其它污染,大大提高了 au 的粘合力。等离子体处理后的基体表面,会留有一层含氟化物的深灰色物质,能用水溶液除掉。同时有益于改进表面沾着性和润湿性。在清洗过程中经等离子体表面活性形成的氧自由基,能够进一步形成特定官能团,这种特定官能团的导入,特别是含氧量官能团对改进材料的沾着性和潮湿性起着明显的作用。
 
     必威总结:等离子体工艺基本的化学清洗具有若干意见优势,等离子因为使用电能催化化学反应而不是能源,因此提供了一个超低温环境。等离子排除了由湿试化学清洗带来的风险,与其它清洗方式对比的最大优势在于清洗后无废水。换句话说,等离子工艺是一种简单到基本上不需管理的清洗工艺。
 

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